Sputtersystem

Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Sputtersystems. Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2?-Sputterquellen benötigt. Sputtersystem