Veröffentlichung 17.06.26 | Teilnahmefrist 23.07.26 | Vertragsbeginn 02.11.26 |
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium Nr. 1: Kathode
Qualitätskriterium Nr. 2: Beschleunigungsspannung
Qualitätskriterium Nr. 3: SE-Auflösung <= 1 nm bei 15 kV (WD=4mm und mit 200.000 X Vergrößerung
Qualitätskriterium Nr. 4: SE-Auflösung <= 1nm bei 1KV (WD=2mm bei 160.000X Vergrößerung)
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