Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächen-bearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff und ähnlich zum späteren Einsatz in industriel-len Anwendungen im Forschungsbereich "Ultra-Präzisionsoberflächen" des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizierung e.V. (Wissenschafts¬park Permoserstr. 15, Leipzig) wird der Kauf eines neuen reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems inklusive der Liefe-rung, Installation und Einweisung in den Anlagenbetrieb ausgeschrieben
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