Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems

Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächen-bearbeitung optischer Substrate unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff und ähnlich zum späteren Einsatz in industriellen Anwendungen im For-schungsbereich "Ultra-Präzisionsoberflächen" des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizie-rung e.V. (Wissenschafts¬park Permoserstr. 15, Leipzig) wird der Kauf eines neuen reaktivgas-tauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems inklusive der Lieferung, Installation und Einwei-sung in den Anlagenbetrieb ausgeschrieben.